Integration optischer Messtechnik in Ultrapräzisionsmaschinen für die Korrekturb

Nicht-rotationssymmetrische Spiegel werden zunehmend in optischen Systemen eingesetzt. Das Ultrapräzisionsdrehen mit Slow-Slide-Servo ermöglicht die Herstellung eines großen Geometriespektrums solcher Spiegel. Für eine Produktivitätssteigerung notwendig sind prozesstechnologische Kenntnisse sowie der maschinenintegrierte Einsatz von optischer Messtechnik zur vollflächigen und somit schnellen Erfassung der Werkstückoberfläche. Damit wird eine Korrekturbearbeitung zur Steigerung der Formgenauigkeit ohne Umspannverluste hinsichtlich Präzision und Zeit möglich. Ziel dieser Arbeit ist die Bereitstellung einer optimierten Fertigungsstrategie für das Ultrapräzisionsdrehen mit Slow-Slide-Servo. Diese schließt neben der Schlichtbearbeitung die maschinenintegrierte, optische Formmessung sowie eine abschließende Korrekturbearbeitung mit ein. Hierzu wurden die technologischen Randbedingungen und Einflüsse auf das Fertigungsergebnis beim Ultrapräzisionsdrehen mit Slow-Slide-Servo untersucht. Weiterhin ist mittels Phasenmessender Deflektometrie (PMD) maschinenintegriert, optisch und vollflächig die Spiegelgeometrie erfasst worden. Darauf basierend konnte ein Korrekturzyklus realisiert werden.